工作原理

操作屏設(shè)定工作溫度值，保溫時間設(shè)置、溫度與時間自動保持，手動抽氣 真空度值，手動解除真空閥。

產(chǎn)品名稱

光刻膠專用脫泡烘箱

控溫范圍

RT+15~100℃

溫度分辨率

±0.1℃

溫度波動度

±0.3℃

傳感器精度

±0.1℃

真空度控制范圍

0.1MPa

設(shè)計殘余真空度

50Pa

真空壓力定義

機(jī)械相對壓力

真空解除

獨立的機(jī)械手動閥門解除真空

備注：解除真空可采用進(jìn)入空氣也可選用氮氣進(jìn)入解除

氮氣流量控制

1~l0L/min 手動可調(diào)

氮氣進(jìn)氣控制

腔體左側(cè)面靠前進(jìn)氣，采用KF 鏡面不銹鋼內(nèi)部焊接轉(zhuǎn)接寶塔 10mm 配硅膠 管連接過濾器進(jìn)入腔體內(nèi)

抽氣口控制

面板設(shè)計不銹鋼球閥，抽氣在腔體左側(cè)靠前采用KF 接頭內(nèi)部焊接后轉(zhuǎn)寶塔 連接硅膠管

主溫度控制器

高精度微電腦液晶控溫儀，采用PID與經(jīng)驗值模糊控制技術(shù)，控溫精確、 工作溫度與運行時間任意設(shè)定

真空度形成用時

約 5 分鐘

真空度解除用時

約 5 分鐘

箱體結(jié)構(gòu)

采用臺式結(jié)構(gòu)設(shè)計，右面為高溫真空腔體，左箱為電器控制系統(tǒng)，腔體內(nèi) 有三層可活動托盤、真空泵獨立、腔體內(nèi)設(shè)有抽氣口、氮氣進(jìn)氣口。

外殼材料

優(yōu)質(zhì)冷軋板噴涂處理

內(nèi)膽材料

優(yōu)質(zhì)SUS304 厚度 3mm 鏡面不銹鋼板，內(nèi)部圓滑滿焊，表面電解拋光處理噴 涂四氟

門封材料

箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，內(nèi)膽邊采用嵌入槽式結(jié)構(gòu)，整體成型日本進(jìn)口 T 型 透明本色硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)高真空度，潔凈度無脫落

保溫材料

耐高溫硅酸鋁纖維棉

傳感器

高溫 PT100 型熱電偶置于內(nèi)膽后壁

保護(hù)與警報裝置

獨立超溫報警切斷加熱電源

漏電保護(hù)

過流檢測

接地等保護(hù)

加熱方式

外部捆綁式加熱 (304 不銹鋼型加熱管)

擱  板

特氟龍開孔板，孔徑 10mm，將樣品直接擺放，最大負(fù)載 5Kg

真空系統(tǒng)

1、抽氣能力4L/S/1 臺渦旋干泵 (可以同時抽氣兩臺真空腔體)

2、廢氣連接管路

3、放氣與進(jìn)氣電磁閥件

4、抽氣壓差閥件

5、雜物過濾裝置

6、硅膠負(fù)壓抽氣管

加熱功率

1.4KW

真空泵功率

0.75KW (220V 電源)

真空箱電源

AC220V/50HZ 單相三線制

其 他

設(shè)備自重 85Kg